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微細シリコンデバイスの電界強度分布

概要

産業技術総合研究所様による微細シリコンデバイスのための3次元応力解析シミュレーター(LINK)の電界強度分布解析をKeyFDTDを使って再現を試みました。


解析結果

KeyFDTDでLINKの電界強度分布解析を行った結果、良く再現出来ていることが確認できました。

微細シリコンデバイスの電界強度分布解析結果

微細シリコンデバイスの電界強度分布解析結果

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